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㈜수에코신소재, ktdi 융합혁신지원단 기술지원으로 애로기술 해결


반도체 제조공정용 히팅재킷(Heating Jacket) 내열성·품질 향상 이뤄





▶Heating Jacket 시제품



▶ktdi 융합혁신지원단의 ㈜수에코신소재 지원 과정



한국섬유개발연구원(원장 호요승, ktdi)이 ‘소재부품장비 융합혁신지원단’ 사업 추진으로 기업의 애로기술 해결에 많은 성과를 내고 있다.

융합혁신지원단은 39개 공공연구기관 협의체로 공공연구기관이 보유하고 있는 기술·인프라·인력 등 다양한 자원을 활용해 소재·부품·장비 기업의 현장 애로 기술을 One-Stop으로 해결하고 있다.

산업용 특수용도 융·복합소재 전문기업인 ㈜수에코신소재(대표 정봉권)는 반도체 제조공정 중 열이 발생하는 특수배관에 일정 온도 유지를 위해 적용하는 히팅 재킷(Heating Jacket)의 내열성 개선을 고민하던 중 ktdi 융합혁신지원단을 만나 문제를 해결했다.

최근 반도체 및 특수정밀 장비의 수요 증가와 에너지 고효율화로 인한 기준 상향으로 기존 제품의 성능 개선 필요성과 최종제품의 불량률 문제로 인해 기존 소재를 대체하는 신소재 개발 요구가 높아지던 상황이었다.

반도체 특수배관용 히팅 재킷에 기존 소재 보다 높은 온도에서 사용할 수 있는 고내열성 섬유 소재를 적용한 뒤 수지를 코팅해 이를 해결할 수 있었다.

ktdi는 이 과정에서 고내열성 섬유직물의 제직 조건 설계와 시제품 제조 등 기술 전문가 자문 및 연구원 보유 인프라 활용을 통해 신속하게 문제를 해결할 수 있었으며, 최종 개발 제품 역시 ktdi의 각종 분석 장비로 예비 검증을 마쳤다.

이번에 개발한 반도체용 히팅 재킷은 반도체 산업에서 고품질·고효율의 가열 솔루션 수요 증가로 지속적인 성장을 견인할 것으로 기대되고 있다.

㈜수에코신소재 관계자는 “기존 제품의 성능 개선과 품질 향상을 위해 참여한 융합혁신지원단 기술지원 사업과 ktdi의 신속한 지원은 바이어의 요구에 따른 제품개발에 큰 도움이 됐다”고 밝혔다.

한편, 한국산업기술진흥원(KIAT) 소재·부품·장비 융합혁신지원단 사업은 ’21년부터 ’25년까지 총 5년으로 내년에도 지속 진행될 예정이며, 관심 있는 기업은 융합혁신지원단에 속해 있는 39개 기관을 통해 지원받을 수 있다. (문의 및 접수 : 한국섬유개발연구원 산업정보·HRD팀 053-560-6645)

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